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【48812】至纯科技取得实用新型专利授权:“一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备”

【48812】至纯科技取得实用新型专利授权:“一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备”

时间: 2024-08-03 13:45:03 |   作者: 爱游戏官网下载

证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现至纯科技(603690)新取得一项实用新型专利授权,专利

  证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现至纯科技(603690)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备”,专利申请号为CN8.6,授权日为2024年6月11日。

  专利摘要:本实用新型触及一种流场优化的高温常压的晶圆枯燥设备,触及半导体清洗范畴,包含枯燥槽体、载料托盘、定位模组、引流模组、盖板;定位模组包含榜首定位模组和第二定位模组,用以两种不一样的标准晶圆盒定位;引流模组设置在载料托盘上,包含引流槽和引流孔,盖板设有用以向枯燥槽体内加注加热氮气的喷淋口。本实用新型经过引流孔和引流槽,使得枯燥槽体内的流场得以优化,防止液体卡液残留;经过榜首定位模组和第二定位模组的设置,还可以彻底满意不同标准晶圆盒的兼容式装载。

  今年以来至纯科技新取得专利授权16个,较去年同期减少了20%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了2.24亿元,同比增16.35%。

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  证券之星估值剖析提示至纯科技盈余才能平平,未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看,股价合理。更多

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